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MF4300氣體質(zhì)量流量計
簡(jiǎn)要描述:
MF4300氣體質(zhì)量流量計能直接測量氣體質(zhì)量流量,適用于各類(lèi)清潔、干燥氣體。MF4300工作壓力提高到1.0MPa,
MF4300氣體質(zhì)量流量計能直接測量氣體質(zhì)量流
量,適用于各類(lèi)清潔、干燥氣體。MF4300工作壓力提高到
1.0MPa, 測 量 范 圍 涵 蓋 0~10SLPM到 0~200SLPM。
2 MF4300提供多種信號輸出,通過(guò)RS485或I C數字通訊接口
可實(shí)現遠程數據采集與設置。MF4300具備LED數字顯示和
按鍵功能,允許用戶(hù)在現場(chǎng)調整或查詢(xún)流量計的參數。
MF4300系列氣體質(zhì)量流量計是基于美國微機電系統有
限公司自主研制MEMS流量傳感芯片,其原理是利用流動(dòng)氣
體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系,在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得
到氣體的質(zhì)量流量。
MF4300氣體質(zhì)量流量計的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感
器。當沒(méi)有氣體流過(guò)時(shí),MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩
定的溫度場(chǎng)分布。當有氣體流過(guò)時(shí),微熱源周邊會(huì )形成新
的溫度場(chǎng)分布。MEMS芯片上的溫度傳感器將測量到具體的
溫度變化并轉換為電信號,經(jīng)放大、調理和線(xiàn)性化處理
后,通過(guò)LED顯示或模擬、數字信號輸出。由于不同種類(lèi)的
氣體對微熱源周邊形成穩定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的溫度變
化不同,所以能測量氣體的質(zhì)量流量。